半导体工业就是通过在本征半导体比如纯硅里掺杂质来调节半导体材料导电性和其它物理化学性能的，极微量杂质就会剧烈改变半导体材料的性能，所以整个生产过程必须用去离子水，以减少非必要杂质的引入去离子水是高纯水，自来水。

超纯水设备一般包括预处理系统反渗透装置后处理系统清洗系统和电气控制系统等预处理系统一般包括原水泵加药装置石英砂过滤器活性炭过滤器精密过滤器等其主要作用是降低原水的污染指数和余氯等其他杂质，达到反。